微細加工技術(shù)雜志基礎(chǔ)信息：

《微細加工技術(shù)》雜志創(chuàng)刊于1983年，是國家科委和國家新聞出版署批準，國內(nèi)外公開發(fā)行的中央級重要科技期刊。

微細加工技術(shù)雜志期刊榮譽：

《微細加工技術(shù)》雜志是國家一級檢索刊物，已連續(xù)9年被美國工程信息公司Ei數(shù)據(jù)庫收錄，是《中國期刊網(wǎng)》、《中國學(xué)術(shù)期刊（光盤版）》、《中國學(xué)術(shù)期刊綜合評價數(shù)據(jù)庫》全文收錄用刊，是《中國科學(xué)引文數(shù)據(jù)庫》來源期刊。

微細加工技術(shù)雜志欄目設(shè)置：

本刊主要欄目：綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機械加工技術(shù)、納米技術(shù)。

微細加工技術(shù)雜志訂閱方式：

ISSN：1003-8213，CN：43-1140/TN，地址：長沙市新開鋪路1025號48所湯輝收，郵政編碼：410111。

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微細加工技術(shù)雜志社投稿信息

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（二）文題文題要準確簡明地反映文章內(nèi)容，一般不宜超過20個字，作者姓名排在文題下。

（三）作者與單位文稿作者署名人數(shù)一般不超過5人，作者單位不超過3個。第一作者須附簡介，包括工作單位、地址、郵編、年齡、性別、民族、學(xué)歷、職稱、職務(wù)；其它作者附作者單位、地址和郵編。

（四）摘要和關(guān)鍵詞所有論文均要求有中文摘要和關(guān)鍵詞，摘要用第三人稱撰寫，分目的、方法、結(jié)果及結(jié)論四部分，完整準確概括文章的實質(zhì)性內(nèi)容，以150字左右為宜，關(guān)鍵詞一般3～6個。

（五）標題層次一級標題用“一、二、……”來標識，二級標題用“（一）、（二）、……”來標識，三級標題用“1.2.”來標識，四級標題用“（1）、（2）”來標識。一般不宜超過4層。標題行和每段正文首行均空二格。各級標題末尾均不加標點。

（六）計量單位、數(shù)字、符號文稿必須使用法定的計量單位符號。

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微細加工技術(shù)雜志社編輯部征稿用過濾式電弧沉積系統(tǒng)制備類金剛石薄膜三元硅化物(CoxNil-x)Si2薄膜的制備及特性亞微米分步重復(fù)投影光刻機總體設(shè)計考慮的幾個問題紫外光寫入的光纖Bragg光柵電子束偏放輸出溫度漂移的自動補償0.1微米電子束曝光機成像系統(tǒng)的計算激光直寫系統(tǒng)制作掩模和器件的工藝LIGA技術(shù)制作Fresnel波帶片的研究金屬型場發(fā)射陣列的研究一種微摩擦力光學(xué)測試方法SU-8環(huán)氧樹脂的分離實驗研究利用等離子體表面預(yù)處理改善光掩模IP膠顯影工藝特性多層薄膜微結(jié)構(gòu)熱應(yīng)力計算脈沖電鍍制備硅基細晶鎳鐵合金薄膜PECVD法制備的ZnO薄膜結(jié)晶性能的影響采用氨化技術(shù)制備成簇生長的光滑線狀氮化鎵痕量爆炸物爆燃探測敏感元件的結(jié)構(gòu)設(shè)計新型壓電微噴的研制硅柵干法刻蝕工藝中腔室表面附著物研究MEMS微電磁驅(qū)動器磨損對光開關(guān)性能的影響分析